超纯水一般是指电阻率到达18 MΩ*cm（25℃）的水。超纯水处理设备一般是由RO+EDI膜块等核心部件组成，水处理的纯度越高需要的部件越精细。

一套高端的超纯水设备一般配件包含：

RO反渗透体系 其中主要包含阻垢剂加药设备，精细过滤器 ，高压泵，反渗透膜壳，反渗透膜，高、低压保护开关，管道流量计，进水电动慢开阀，冲刷电动阀，管路阀门体系，电导率仪，低压电器件，设备机架。
EDI模块EDI模块由阴/阳电极板、阴/阳离子交流膜、阴/阳离子交流树脂、浓水室流道、淡水室流道和极水室流道六部分组成。EDI去除水中盐分主要分为强电离性离子迁移时段(高盐分区域)和弱电离性物质电离时段(低盐分区域)两个阶段。
EDI超纯水处理设备的杰出的长时间运转不只依赖于体系的初期设计，并且取决于正确的运转和保护。这包含体系的初期启动和运转过程中的启动/停机。为了坚持体系的长时间杰出运转，需要对体系运转数据进行定时记载，以便日后日常运转保护。并且日常运转保护数据对于在设备毛病判断和决议采纳何种措施方面有重要意义。

　　1、启动前的检查通过运转反渗透设备，将其处于回流状态。

　　测试EDI纯水设备进水水质的下列目标：

　　进水水源 二级反渗透产水

　　进水当量电导率(包含CO2与Si) <40μS/cm

　　硅 <1.0 ppm 以SiO2计

　　铁，锰，硫 <0.01 ppm

　　氯/氯化物 <0.02 ppm以Cl2计

　　硬度 <1.0 ppm以CaCO3计

　　溶解的有机物 <0.5 ppm TOC中的C计

　　PH 值 4-11

　　最大进水压力 bar (1-45℃)

　　规范流量下压差 1.4-2.1 bar

　　规范回收率 90-95%

　　最高进水温度 45℃

　　最低进水温度 5℃

　　直流电压(V) 0-600

　　直流电流(A) 0-6

　　2、检测流量开关动作以及相关连锁动作是否正确(若需要的话，RO连锁动作也需要测试)